EUV-Lösungen

EUV-/XUV-Lösungen

RI Research Instruments bietet fortschrittliche Lösungen zur Nutzung von XUV- und EUV-Photonen für Anwendungen in den Bereichen Nanoskopie, Materialwissenschaften und EUV-Lithografie-Infrastruktur. Wir liefern eigenständige Geräte an führende Halbleiterhersteller und Forschungseinrichtungen und unterstützen damit ein breites Spektrum an Aktivitäten – von der Bildgebung biologischer Gewebe mit weicher Röntgenstrahlung bis hin zu modernsten EUV-Anwendungen. Unser Portfolio umfasst zudem Systeme für die Solarforschung und Photochemie sowie maßgeschneiderte DPP- und LPP-Quellen zur Erzeugung von XUV-, EUV- und weicher Röntgenstrahlung. Unsere Systeme können für die Verarbeitung von 12-Zoll-Masken ausgelegt werden und liefern wertvolle Informationen für die Entwicklung der nächsten Technologieknoten.

Blick in einen Reinraum bei RI mit großen Metallschränken und zwei Menschen in weiß-blauer Reinraumkleidung

Portfolio

Produktpalette

EUV-/XUV-Portfolio

Zu unseren Bausteinen, Lösungen und Werkzeugen gehören:

Eigenständige DPP- und LPP-Quellen für XUV, EUV und weiche Röntgenstrahlung mit anwendungsspezifischen Schnittstellen
Systeme zur Verringerung von Partikelablagerungen (Debris-Unterdrückung)
Spektralfiltersysteme
Erhältlich in Ausführungen für Forschung und Entwicklung sowie für den industriellen Einsatz
Messtechnik-Tools zur Charakterisierung der Strahlungsquellen

EUV-Lithografie

Aktinische EUV-Geräte für die Lieferkette der EUV-Lithografie, wie zum Beispiel:

EUV-PRTT: EUV-Messgerät zur Reflexions- und Transmissionsmessung von Pellicles
EUV-MBR: EUV-Mask-Blank-Reflektometer für die spektrale Reflektometrie
EUV-AIMER: EUV-Mapping-Reflektometer für ortsaufgelöstes Vermessen ganzer Retikel
EUV-TEUVL und EUV-LET: Aktinische EUV-Belichter- und Interferenzlithographie-Anlagen für den Test von Fotolacken

Kundenspezifische Entwicklungen

Bei RI bieten wir mehr als nur Standardlösungen. Ein Kernbereich unseres Geschäfts ist die Entwicklung, Konstruktion, Fertigung, Prüfung und Lieferung von Systemen und Komponenten, die genau auf die Bedürfnisse unserer Kunden zugeschnitten sind. Dank eines etablierten Netzwerks erfahrener Partner basieren unsere Entwicklungen auf bewährten Bausteinen und Komponenten, gestützt durch unsere Erfahrung in der schnellen Umsetzung – von der Anforderungsdefinition bis zum Betrieb der maßgeschneiderten Anlage beim Kunden vor Ort.

Unsere Forschungs- und Anwendungslabore unterstützen solche Entwicklungen, indem sie Proof-of-Concepts oder Tests kritischer Komponenten mit verfügbaren EUV-Quellen, Bauteilen und Testanlagen ermöglichen.

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