EUV-Lösungen
EUV-Messtechnik
EUV-Lösungen
EUV-Messtechnik
Messtechniklösungen für aktinische EUV-Quellen
Wir bieten eine breite Palette an messtechnischen Lösungen für die aktinische Charakterisierung von EUV-Quellen. Unser EUV-Impulsenergie-Monitor E-MON liefert absolute Messwerte der Quellenleistung. Emissionsspektren lassen sich mit unserem kompakten Spektrografen E-SPEC charakterisieren, und zur Charakterisierung aktinischer Emissionsprofile steht eine breite Palette an Bildgebungslösungen zur Verfügung.
E-MON
Inband energy/power
Der EUV-Impulsenergiemonitor E-MON ist für die absolute Messung der Inbandleistung von EUV-Quellen ausgelegt und kann PTB-kalibriert geliefert werden. Der Energiemonitor lässt sich über Standard-Vakuumschnittstellen problemlos in bestehende Anlagen integrieren. Unsere digitale Signalaufzeichnungseinheit DSRU und die dazugehörige Software ermöglichen die automatisierte Erfassung von Dosisdaten und die Einbindung in Anlagensteuerungssysteme.
E-SPEC
Emissionsspektren
Das EUV-Spektrometer E-SPEC misst das von einer Quelle emittierte EUV-Spektrum mit einer spektralen Auflösung von > 500 (Pixel: > 2000) mithilfe einer rückseitig belichteten CCD-Kamera. Die spektrale Kalibrierung erfolgt auf Basis von NIST-Linien.
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