Das EUV-Pellicle-Reflexions- und Transmissions-Tool (EUV-PRTT) wurde gemeinsam mit ASML zur Qualifizierung von EUV-Pellicles entwickelt und dient der Überprüfung der Produktionsqualität in der Lieferkette. Es misst die optischen Eigenschaften von Pellicles mithilfe des von RI entwickelten AIMER™ -Konzepts als räumlich aufgelöste Karte mit einer intrinsischen Pixelauflösung von 13,5 µm². Bei einer Transmission von typischerweise über 90 % liegt die Reproduzierbarkeit und Genauigkeit des Geräts bei besser als 0,1 %. Das System kann dabei gleichzeitig Reflektivitäten von unter 0,01 % messen, wobei die Reproduzierbarkeit und Empfindlichkeit deutlich unter 0,001 % liegen. Zum Einsatz in industriellen Produktionsprozessen oder in Fertigungsanlagen erfüllt das EUV-PRTT die Reinheitsanforderungen, wie sie für die ASML-Lithografiesysteme definiert sind.